插板門的密封板的密封結構

超高真空插板門密封板的密封要保證密封效果的同時，也需要考慮插板門開關循環次數、加工工藝以及成本等方面。本文中主要對以下幾種結構對比分析，密封板密封結構可見圖3所示。

對密封板密封結構主要有兩大類：塑形變形密封和結構密封。對塑形變形密封，結構簡單，但結構對零件材料選擇要求極高，無法重復使用。對結構密封，通過設計特定的結構以滿足密封要求，結構復雜，加工要求比較高。

結構a中，大多采用類似于法蘭CF刀口密封方式強制材料塑性變形，來發揮密封作用（見圖3中結構a），且隨著插板門啟閉次數的增加，密封面上所需的比壓也成倍增加，在設計過程中對插板門體的剛性要求也必須增加，以滿足密封面上所需的力。這樣不但增加了材料成本，同時使用壽命也無法保證。

結構b中延用的是目前高真空插板門普遍采用的結構之一（見圖3插板門的結構b），采用的是成型密封環的結構，只是將原非金屬密封圈更改為金屬圈，這樣既保證了烘烤所需要考慮材料問題也保證了密封問題。這樣的方式結構簡單容易實現，基本只需要少量的變形就能到達密封效果，但對與之配合的零件的加工工藝比較難于保證，對于密封圈配合的面的精度及表面粗糙度要求極高。此種特定形狀的金屬密封環（可以為O形或者C形）目前國內廠家有相似的產品，但精度無法保證。因此，只能基本依賴進口，成本昂貴。

結構c中殼體插板門座與密封板的配合為錐面密封結構，由于為錐面配合密封的方式，殼體插板門座與密封板有自定心的特點，大大地降低了加工難度，且在此結構下密封面的材料基本不需要塑形變形，結構保證即可達到密封的效果。對材料的選擇也無特別的要求，選擇常用的符合超高真空環境要求的材料即可，只需要對密封面進行處理，如硬化或者鍍層即可滿足使用壽命的要求，使用過程中密封所需要的比壓也不會增加。對自制密封件還可后期更換，大大減少了維護成本。對于結構c還有幾種變形結構：變形結構i，將密封環密封面設計成圓弧狀或者球狀；結構ii，結構為常規結構，減小密封面接觸寬度，對密封面特殊處理，通過鍍層或者對殼體密封面與密封板密封面有一定硬度差，這樣一定程度上減小了密封比壓，使得啟閉力大大降低。