插板門的上蓋法蘭與殼體的密封結構

超高真空插板門其上蓋法蘭和殼體處的密封結構：由于超高真空環境需要烘烤以及材料的限制，所有密封選擇全金屬密封的方式。對于上蓋法蘭和殼體的密封件材料常用的有鋁、銅、不銹鋼和金等金屬或者經過處理后的合金材料，密封結構可以采用國標推薦的金屬密封法蘭的方式，其中密封件有：金屬O型圈絲、異形截面密封墊圈、平面（用于圓錐端面、直角形、刀口、斜楔、臺階、鋁箔和惠勒密封）密封件，如圖2所示。

上述密封結構對法蘭密封面的加工及兩法蘭配合精度要求高，且一般僅用于圓形小尺寸法蘭的密封。相對于大口徑，其上蓋法蘭和殼體法蘭一般不做成為一個圓形狀，要達到密封效果，上蓋法蘭密封面需要加工為刀口一類的密封結構，加工工藝尤為困難，且基本無法重復利用。為此，更多地可以采用平面法蘭平面密封，按法蘭輪廓形狀設計密封件并對密封件表面鍍層處理，其基體材料可選擇與殼體材質相同材質，其鍍層可以選用銀或者金等延展性較好的金屬材料，上蓋法蘭密封平面和殼體法蘭密封面相對容易達到密封要求，且滿足了在插板門壽命時間范圍內，完全可以滿足反復拆裝次數要求，且其形狀亦可以設計為更加符合插板門外形的結構，如圖2上蓋法蘭密封墊片所示。